上海大学2026年08月政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 上海大学2026年08月政府采购意向 如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 原子层刻蚀系统 | 能够高质量完成结晶IGZO薄膜、HfO2、ZrO2等高 k 介质原子层刻蚀，单循环刻蚀量≤0.1nm，精准控深；IGZO/HfO2异质层刻蚀选择比≥50:1，侧壁倾角≥85°，各向异性优异，适配高深宽比微纳加工；等离子损伤低，≥0.2μm 新增颗粒≤0.3 个 /cm3，器件场效应迁移率可达 90cm2・V-1s-1 以上。 | 4500000.00 | 2026-08 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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