浙江大学温州研究院2025年9月MPCVD政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将浙江大学温州研究院2025年9月MPCVD采购意向公开如下：

采购单位	浙江大学温州研究院
采购项目名称	大尺寸微波等离子体CVD系统
预算金额（元）	5000000.00
预留中小企业采购份额	否
落实政府采购政策功能情况	落实政府采购相关政策
预计采购时间	2025年11月
采购需求概况	标的名称：大尺寸微波等离子体CVD系统数量/单位：1套预算金额（元）：5000000.00 采购目录：A02109900其他仪器仪表需实现的主要功能或者目标：采用915 MHz的微波源，将H2/CH4/N2/O2气氛激发为大尺寸均匀的高能等离子体，在硅/碳化硅/钼/金刚石等基体实现大尺寸金刚石的高效外延生长/刻蚀，亦可用于小尺寸金刚石的大批量外延生长/刻蚀需满足的质量、服务、安全、时限等要求：沉积面积≥6英寸；电源功率： 75 kW；微波频率：915 MHz；一年内上门维修服务；易燃易爆气体泄漏报警装置；冷却水压自动检测及报警装置；符合使用要求。
联系人	余佳晨
联系电话	0577-85679886
备注	/

浙江大学温州研究院

2025年09月16日

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。